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Precision Inc XP4-EMERALD FLANGE-MESC INTFC-300 MM ASM 16-404633-01
ASM 1080-573-01
MeiVac 2460/2480
MeiVac 2460
Frontier FSM 8800
AMAT Applied Materials 0040-52495
VAT 64246-UE52-0101
Tegal CC1327-00300
FEI Company CLM-3D
Kimball 70-00153-01 System Computer Lam Research 685-097073-241
TEL Tokyo Electron 10023541
本文针对电动机研究了其伺服控制系统设计。系统利用TI公司的DSP构造了数字控制器。在数字控制器中实现位置回路和速度回路的控制算法,其输出为可调占空比的PWM信号经驱动电路实现电机的位置和速度控制。驱动电路主要由直流电动机控制芯片Si9979Cs和由6个MOSFET功率管构成的三相桥构成。后利用C语言编写了全部控制程序,这些程序采用模块化结构,具有开放性。 关键字：伺服控制; 数控; 直流电动机 无刷直流电机是一种近年来随着电子技术的迅速发展而发展起来的一种新型伺服电机。与直流电机比较，电机用换向电路取代换向器（整流子）和电刷组成的机械接触结构，因此没有换向火花，不产生无线电干扰，寿命长，运行可靠，维护简便。而与交流伺服电机比较，又具有控制简单，价格低廉的特点，因此在小型机电装置中得到广泛的应用。本文研制了基于数字控制器电动机的伺服控制系统。 硬件电路可以分为三部分：主控电路模块、功率驱动电路模块和电源模块。主控电路模块以 DSP 为核心，外围电路主要包括：调试仿真接口电路、外部存储器扩展电路、串行通信接口电路、CAN 总线接口、脉冲量、模拟量控制接口、数字模拟转换电路和输入输出扩展借口。功率驱动电路包括逆变器主电路、转子位置检测电路等。电源电路为系统提供多路不同等级的直流电源。
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