产品别名 |
小型燃气加热器 |
面向地区 |
日本lintec小型燃气加热器 HX-0020
紧凑型紧凑型气体加热，高加热温度为200°C。
设计紧凑，面之间 160 mm ×宽 55 mm
加热 N2 气体 10SLM 至 200°C
能够加热不腐蚀气体接触材料的气体（SUS316L）
也可在真空和加压下使用
液化气体通常用于ALD和CVD等真空沉积，但用室温气体吹扫会使温度冷却并冷凝，相反，吹扫可能不足。 这就是热吹扫的用武之地。 紧凑型气体加热器 （HX-0020） 的占地面积与 MFC 没有太大区别，可以加热到 200°C，使气体加热接近使用点，使其成为 ALD 和 CVD 等真空沉积设备热吹扫的理想选择。
日本lintec小型燃气加热器 HX-0020
流量（N2当量） 压降 （N2） 耐压 （G） 工作温度 气体接触部件材料 规范 10SLM 14kPa 1兆帕 200°C 不锈钢316L
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