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有一种故障现象是高压开起来几分钟后跳掉，产生这种故障的原因可能为内循环水的流量过小。内循环水的流量通过流量计测量，水流过流量计时，带动流量计内的叶轮，叶轮切割磁力线，产生电信号。叶轮在水中长期转动，可能会锈蚀，从而使叶轮的转速减慢，流量计的电信号减弱，使仪器误认为水流量过小而导致高压跳掉。另外内循环水的过滤网堵塞导致水流量减小，也会引起高压跳掉。
晶体是仪器内脆弱的部件，尽量不要用手接触衍射面，如果手或其他东西碰到了晶体的衍射面，就会污染晶体，手上的汗或其他物质渗到晶体的表面，使晶体表面的晶格间距发生变化，而X射线荧光的衍射主要发生在晶体的表面，因此造成2θ扫描的峰形不光滑。这种故障一时很难消除，一般清洗不干净。
RoHS检测仪的基础保养
1、专人负责仪器的操作和维护。
2、在没有电磁干扰的环境下测试，如仪器附近不能有大功率的电机、电焊机等。
3、建议使用UPS（电源稳压器），保持电压稳定，以免对仪器部件造成损坏。
4、保持仪器的清洁和干燥。
5、请不要把仪器放在太脏或者太热太冷的环境里。
6、请不要自行修理仪器。
7、测试后，请关闭盖子，避免仪器受污染。
8、室内温度应保持在 -11℃～46℃。
9、室内湿度应保持在 0～60%之间。
