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X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
晶体是仪器内脆弱的部件，尽量不要用手接触衍射面，如果手或其他东西碰到了晶体的衍射面，就会污染晶体，手上的汗或其他物质渗到晶体的表面，使晶体表面的晶格间距发生变化，而X射线荧光的衍射主要发生在晶体的表面，因此造成2θ扫描的峰形不光滑。这种故障一时很难消除，一般清洗不干净。
影响RoHS检测仪报低的因素有哪些？这是由此类仪器的特殊性决定的，RoHS检测仪不像一般的产品，不是说买回去拿来就可以用的，是要根据你的实际检测需求来决定哪款配置的仪器适合你，每款型号的配置不同，价格也是不同，导致终没法准确的报价。
RoHS检测仪的基础保养
1、专人负责仪器的操作和维护。
2、在没有电磁干扰的环境下测试，如仪器附近不能有大功率的电机、电焊机等。
3、建议使用UPS（电源稳压器），保持电压稳定，以免对仪器部件造成损坏。
4、保持仪器的清洁和干燥。
5、请不要把仪器放在太脏或者太热太冷的环境里。
6、请不要自行修理仪器。
7、测试后，请关闭盖子，避免仪器受污染。
8、室内温度应保持在 -11℃～46℃。
9、室内湿度应保持在 0～60%之间。
由于待测物质体积的限制相应的采样方法要更加灵活且更加可靠，而我国广受好评的光谱仪其本身的使用方法会受到这种探测装置知识能力的影响，由于其本身的光纤信号和相应的传输作用有着显着的差异，后续的智能处理和功效形成也会产生的不同，因此在日常的使用之中更需要采购的装置，利用光谱仪更好的功能优势实现可靠的传导和探测。
众所周知不同的操作方法和不同的操作模式能够让这种装置产生不同的使用功能，而自身的光谱仪在日常使用时被测的物品有着特定的范围，因此客户更需要在选择的光谱仪时需要了解这种光谱仪所能够测量的物质，分析具体的测量方法并以科学合理的手段作为根本，让这种光谱仪的测量要有更好的实现空间和检测价值。
