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通用继电器底座 DSTA131
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Phasetronics AMI#0015-09091 Lamp Driver P1038A #108264
ASML 859-0929-006 Stage Decoupler PCB A1306
VAT 217300
Cosel PAA15OF-24-N Power Supply P50E-12-N P50E-15-N PAA50F-5-N
SVG Silicon Valley Group 38465-02 Spin Chuck Dev 90SER
Varian Semiconductor Equipment E17103280
MATTSON TECHNOLOGY 544-00016-00
Lam Research SUS-CRR-0320
AMAT Applied Materials 0200-27190
AceCo S33-915 
在抑制轴承电流方面，文献[1]给出的办法用正弦波滤波器将PWM电压转换成正弦波电压，使电机工作在正弦波供电状态下，但该方法所串电感大，系统动态响应慢，同时电感上的压降和功耗增大。本文在逆变器输出端串小电感并辅以RC吸收网络，可有效抑制PWM逆变器驱动下出现的轴电流。 共模电压与轴电压一般认为，磁路不均衡、单极效应和电容电流是电机中产生轴电压的主要原因[3]。在电网供电的普通电机中，人们一般比较重视磁路不平衡的影响。但在逆变器供电的电机中轴电压主要由电压不平衡，即电源电压的零序分量产生。由于电路、元器件、连接和回路阻抗的不平衡，电源电压将不可避免地产生零点漂移，该电压将在系统中产生零序电流，轴承则是电机零序回路的一部分。
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